日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹

發(fā)布時間：2022-04-12　點擊量：883

日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹 AT-ET, AT-ETa

特征

通過結(jié)合旋轉(zhuǎn)泵并使其成為桌面型，實現(xiàn)了小空間。
操作簡單，從排氣到涂裝完成自動響應(yīng)。
采用數(shù)字顯示器，便于了解真空度。
低價。

目標(biāo)：Au Pt Ag Au-Pd In 可用。（Φ30 t：0.1 mm，In 為 0.5 mm）（另售）
使用 In 時，我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa。

規(guī)格

濺射法	DC磁控濺射放電電壓：DC 1500V max 放電電流：從DC 10、20、30、40mA中選擇
目標(biāo)（單獨出售）	可以使用厚度為φ30、0.1mm的Au、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30、0.5mm的In。
使用的氣體	空氣，Ar（Ar 僅適用于 AT-ETA）
達(dá)到真空壓力	8Pa以下
腔室尺寸	φ87mm
樣品架	φ70mm
真空排氣	旋轉(zhuǎn)泵（10L/min）*內(nèi)置
尺寸	機身 250W x 370D x 325H
重量	機身約15kg
電源供應(yīng)	交流 100V 3A

涂層示例

◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）

放大倍率 x 2,000 倍

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