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磊晶處理后的滑線檢查技術(shù)
即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)1。
光學(xué)系統(tǒng)無(wú)須維護(hù)。
根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容,可修正檢測(cè)靈敏度。
詢問(wèn)此產(chǎn)品的型錄
檢測(cè)尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
檢測(cè)內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
檢測(cè)倍率 | 1x / 3x 模式可切換(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備) |
檢測(cè)靈敏度 | 檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
使用光源 | 550nm (固定照度之穩(wěn)定光源) |
鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
平臺(tái) | 手動(dòng)平臺(tái)(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備) |
鏡面晶圓的表面檢測(cè) |
滑線檢測(cè) |
玻璃基板檢測(cè) |
其他鏡面基板檢測(cè) |
電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái) |
自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置 |
影像列印機(jī) |