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半導(dǎo)體晶圓片在加工過程中目視檢查燈的使用
晶圓片是由多晶硅(多晶硅是不能用來做半導(dǎo)體電路)摻雜練成單晶硅通過 Czochralski (CZ) 方法生長成硅錠,硅錠用金剛石鋸來準(zhǔn)確切割成晶圓片。晶圓片再進(jìn)行研磨,打薄,蝕刻、清洗、倒角、拋光……步驟,形成晶圓片成品。
晶圓片拋光面用來生產(chǎn)電路,這面必須沒有任何突起、微紋、劃痕和殘留損傷。拋光過程分為兩個(gè)步驟,切削和最終拋光。切削過程是去除硅上薄薄的一層,以生產(chǎn)出表面沒有損傷的晶圓片。最終拋光并不去除任何物質(zhì),只是從拋光表面去除切削過程中產(chǎn)生的微坑。
拋光后,晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗,這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物。之后,要經(jīng)常進(jìn)行背面擦洗以去除最小的顆粒。這些晶圓片經(jīng)過清洗后,將他們按照最終用戶的要求分類,并在高強(qiáng)度半導(dǎo)體晶圓片檢查燈下檢查,以便發(fā)現(xiàn)不必要的顆?;蚱渌毕?。一旦通過一系列的嚴(yán)格檢測,最終的晶圓片即被包裝在片盒中并用膠帶密封。然后把它們放在真空封裝的塑料箱子里,外部再用防護(hù)緊密的箱子封裝,以確保離開超凈間時(shí)沒有任何顆粒和濕氣進(jìn)入片盒。
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鹵素強(qiáng)光燈YP-150I/YP-250I
用于Si薄片,玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源,微小瑕疵也可被檢測出來
特點(diǎn)】
1. 大于 400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).
2. 使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高達(dá)3400°K,照光和顏色均一了穩(wěn)定強(qiáng)光的照射。
3. 由于冷鏡的使用,使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2 到 1/3
4. 光束直徑由鏡片調(diào)整,30-50mm 之間調(diào)整
5. 底部開光,調(diào)整照明勘察器高度,操作簡便,可控制光量。
表面檢查燈 FY-18/FY-18N/FY-18L是日本funatech公司生產(chǎn),適合于精密工件表面的傷痕及異物的表面檢查燈。精密工件表面的傷痕、臟東西、異物等式引起不.良品的很大原因。FY系列表面檢查燈/FY-100R綠光燈只選用人眼敏感的光線,是可以簡單明確判斷上述不.良原因的表面檢查燈/綠光燈。
高照度照明設(shè)備(表面檢查燈) 185-LE是目視檢查晶圓、鏡頭、玻璃基板的表面等為目的的光源。
適合于TFT面板、CF(彩色濾光片)、觸摸屏制造等行業(yè)。
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