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產(chǎn)品中心

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yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢

發(fā)布時間：2023-02-13　點擊量：609

yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢

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半導(dǎo)體制造設(shè)備
光刻膠、顯影劑、沖洗液、蝕刻劑、去除劑、清洗液、抗蝕劑去除劑


產(chǎn)品概覽

　有效去除半導(dǎo)體制造過程中使用的化學(xué)品和溶劑中的氣泡和溶解氣體。
去除光刻膠、顯影劑、沖洗液、蝕刻劑、去除劑、清洗液、抗蝕劑剝離液等化學(xué)溶液中的氣泡和溶解氣體。
通過去除它，可以預(yù)期產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和成品率提高等效果。
　有效去除氣泡和溶解氣體，這對于控制化學(xué)品和溶劑的濃度和體積是*，可以實現(xiàn)精確的化學(xué)品控制。
它環(huán)保且成本低。

?消除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的問題氣泡，穩(wěn)定質(zhì)量，提高成品率，防止故障。
? 有效去除阻礙化學(xué)品和溶劑濃度和體積控制的氣泡和溶解氣體。

低價格——氟脫氣模塊（化學(xué)品/溶劑用）是高性能低價格的脫氣模塊。
與傳統(tǒng)氟基（PTFE）脫氣模塊相比，產(chǎn)品性能提升，價格降低40%。
該產(chǎn)品價格低廉，非常適合正在考慮脫氣設(shè)備的客戶。

產(chǎn)品特點

　與傳統(tǒng)的PTFE（氟基）脫氣模塊相比，產(chǎn)品性能得到提升，價格大幅降低。
PTFE（氟系）等助劑無溶出，不易附著污垢的PFA全部用于接液部，適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
您可以放心使用。
脫氣效率高，對流量的依賴性小，因此即使增加流量，脫氣能力也不會明顯下降。

 氟樹脂膜概要

耐化學(xué)性：耐大多數(shù)化學(xué)品和溶劑，氟基化學(xué)品和溶劑除外。
耐沾污：污漬不易附著，即使附著也可輕松去除。
非洗脫：不洗脫金屬離子等雜質(zhì)。通常，氟基樹脂膜（PTFE）在加工過程中會添加助劑。
產(chǎn)品有助劑浸出，但含氟脫氣模塊不使用助劑，干凈。

產(chǎn)品陣容



型號
最大流量（80%以上的脫氣效率）
最大流量（脫氣效率50%以上）
內(nèi)部能力
尺寸
MF100
20毫升/分鐘。
-
40毫升
Φ120×120（毫米）
MF300
50毫升/分鐘。
-
110毫升
Φ120×160（毫米）
MF500
80毫升/分鐘。
300毫升/分鐘。
150毫升
Φ120×160（毫米）
MF1000
150毫升/分鐘。
500毫升/分鐘。
300毫升
Φ120×240（毫米）
MF1000-2
300毫升/分鐘。
1000毫升/分鐘。
600毫升
W250×H330×D115（毫米）


除氧器（備忘）我 莫 通過并聯(lián) MF1000-2，可以處理 1000ml/min 以上的流量。
最大流量 通大氣飽和水溶解氧去除率80%以上時，最大流量50%以上，水溫25℃，真空度12kPa（約90torr）
內(nèi)部能力 內(nèi)部體積包括脫氣模塊內(nèi)的氣體分離膜、管道和接頭
薩 胃 Z 外形尺寸（不包括突出部分）

評價

使用該脫氣模塊時，需要滿足以下條件之一。
?真空泵或真空管線
?帶真空控制功能的真空泵