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氧氣濃度檢測(cè)儀在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要性

發(fā)布時(shí)間：2024-12-18　點(diǎn)擊量：60

氧氣濃度檢測(cè)儀在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要性

半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)全球性的巨大行業(yè)，每年都在持續(xù)增長(zhǎng)，這意味著對(duì)高純度氣體的需求將隨之增長(zhǎng)。


擁有可靠的高純度氣體供應(yīng)對(duì)于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要，尤其是在智能手機(jī)和自動(dòng)駕駛汽車(chē)等先進(jìn)技術(shù)方面。
生產(chǎn)集成電路的過(guò)程很復(fù)雜，在所有階段都需要 30 多種不同的氣體，這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中廣泛的氣體之一。
氣體是半導(dǎo)體制造的重要組成部分，因?yàn)闅怏w可以產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。由于其復(fù)雜性，在制造過(guò)程的每個(gè)階段使用的氣體都需要精確和準(zhǔn)確，以正確配置半導(dǎo)體。


如您所知，氧氣是一種氧化劑，因此它對(duì)于產(chǎn)生沉積反應(yīng)至關(guān)重要。它用于生長(zhǎng)用于工藝中各種元素的氧化硅層，例如擴(kuò)散掩模。


當(dāng)使用氧氣進(jìn)行半導(dǎo)體制造時(shí)，氣體必須是超高純度的，以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能。
在蝕刻過(guò)程中，氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料。它也可以用來(lái)使任何蝕刻圖案。
最后，氧氣還有助于通過(guò)可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應(yīng)中和反應(yīng)性氣體。因此，與氮?dú)忸?lèi)似，氧氣也有助于確保不會(huì)發(fā)生任何污染。

便攜式氧氣濃度計(jì)EZY系列

檢測(cè)部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計(jì)。 這是一個(gè)集成傳感器、控制單元、流量計(jì)、泵和過(guò)濾器。

image.png

特征

  • 1.與先前型號(hào)（TB-FI系列）相比重量減輕
    （EZY：4.3kg/先前型號(hào)：6.0kg）

  • 2.根據(jù)用途可選擇顏色變化（紅、綠、藍(lán)）

  • 3.平滑的溫度控制可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量（減少波動(dòng)）

  • 4.傳感器多層保護(hù)，耐腐蝕，使用壽命長(zhǎng)（保修2年）

規(guī)格

模型EZY-1-GEZY-1-REZY-1-BEZY-2-GEZY-2-REZY-2-B
顏色綠色的紅色的藍(lán)色的綠色的紅色的藍(lán)色的
類(lèi)型

無(wú)采樣泵

帶采樣泵

原則氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池
作品SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計(jì)等。
測(cè)量范圍1ppm～100% O2
展示%: 0~99.99%O2 ppm   : 0~ 9999ppmO2
輸出4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一）


RS-232C

繼電器接點(diǎn)：3點(diǎn)（A接點(diǎn)），集電極開(kāi)路輸出：2點(diǎn)（以下可任意分配）

濃度報(bào)警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示）

傳感器異常（故障）報(bào)警：加熱器、RTD斷線(xiàn)（LCD顯示）

預(yù)熱完成信號(hào)

范圍回復(fù)

接點(diǎn)輸入遠(yuǎn)程校準(zhǔn)變送輸出（電壓/電流） 保持遠(yuǎn)程量程切換
量程切換自動(dòng)/手動(dòng)/遠(yuǎn)程

初始設(shè)置

0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
樣本吸取

樣品壓配合

內(nèi)置泵抽吸

樣品壓力

高達(dá) 2 個(gè)大氣壓

漂移線(xiàn)性重復(fù)性


響應(yīng)速度

管道連接

樣品流速

樣品溫度

預(yù)熱時(shí)間

電源

配件

±2%FS 以?xún)?nèi)/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?nèi)，以較大者為準(zhǔn) 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?nèi)，以較大者為準(zhǔn)


10秒內(nèi)90%響應(yīng)（如果向高濃度側(cè)擺動(dòng)）

RC1/4

0.2～2L/分鐘

最高60℃

約20分鐘

免費(fèi)電源（85-260VAC）

電源線(xiàn)3m