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日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計

產(chǎn)品型號： FUD-1 Model-53

所屬分類：

產(chǎn)品時間：2024-09-05

簡要描述：日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢（例如可維護性和高精度在線測量）的同時，還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

詳細說明：

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

 

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢（例如可維護性和高精度在線測量）的同時，還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

多組分濃度計的特點

可以實時完成3個組件的2個組件密度計側(cè)

  • 標(biāo)配模擬DC 4-20mA（2線）和數(shù)字RS232C
  • 標(biāo)配測量誤差輸出和報警輸出
  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
  • 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計，因此對化學(xué)藥品沒有影響。
 

值得

  • 可以高精度連續(xù)測量
  • 免維護，無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
  • 易于安裝，因為在安裝過程中無需進行任何調(diào)整
  • 通過實時輸出輕松反饋到過程

 

用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
  • 清洗過程中清洗液的濃度控制（HF + HNO3 ? HF + H2SiF6等）
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻溶液濃度（TMAH +抗蝕劑，TMAH + Si等）
  

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

規(guī)范

模型FUD-1 53型
 轉(zhuǎn)換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度，溫度，電導(dǎo)率
顯示LCD（密度1，密度2，溫度，聲速，電導(dǎo)率/各種參數(shù)）
輸出信號模擬DC 4?20mA：2個系統(tǒng)（可自由設(shè)定濃度值）
數(shù)字RS232C（濃度1，濃度2，聲速，溫度，電導(dǎo)率，錯誤代碼）
報警上下限測量錯誤：2個系統(tǒng)
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0-50°攝氏度
RH85％以下（無凝結(jié)）
功能輸出范圍設(shè)定功能，警報輸出設(shè)定功能，濃度顯示移動平均值功能，濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能，自診斷功能，故障保險功能，異常值取消功能，溫度時間常數(shù)校正
選項溫度輸出（DC4?20mA）
RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
通道（校準(zhǔn)曲線）高達7ch
合適的發(fā)射器示例SA-20S29 +電導(dǎo)率儀，SA-20S27 +電導(dǎo)率儀

 

 模型 發(fā)射機
SA-20S29 +電導(dǎo)率儀SA-20S27 +電導(dǎo)率儀
 震動元素 PZT（2MHz）x1PZT（2MHz）x2
 測量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 測量液體溫度 0-100°攝氏度 0-80°攝氏度
 施工 流通池 流通池
 濕件材料 PFA / PFA涂層 PFA
 聯(lián)合 3/4配件（可更換） 3/4配件（可更換）
 耐壓性 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5l / min（推薦） 5l / min（推薦）
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 電纜6m電纜6m
 環(huán)境溫度 5-45°攝氏度 5-45°攝氏度


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