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日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

產(chǎn)品型號：

所屬分類：

產(chǎn)品時間：2024-09-06

簡要描述：日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。

詳細(xì)說明：

日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

 

配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。

原始的主動振動隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè)，前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。

在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時，安裝臺的激振力所產(chǎn)生的振動也會同時衰減。

值得

  • 無共振的振動傳遞特性。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
  • 具有6個自由度的高精度位置控制可確保穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
  • 可以選擇能夠應(yīng)對較大移動負(fù)載的高速響應(yīng)大流量閥。
  • 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
  • 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

產(chǎn)品用途

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作需要精細(xì)處理的晶片的振動對策以及用于移動晶片的臺架的振動對策。
  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在機(jī)架和工作臺明顯移動時快速衰減振動，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節(jié)拍時間。
  • 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺上的振動，該工作臺用于精密加工，同時支持大載荷的運(yùn)動。

日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量（1個單位）尺寸（1個單位）
VAAV-550A270?900公斤215（寬）x 160（深）x 170（高）毫米
VAAV-1000A500-1700公斤225（寬）x 210（深）x 170（高）毫米
VAAV-2200A1100-3700公斤280（寬）x 240（深）x 208（高）毫米
VAAV-4000A2100-7000公斤330（W）x 270（D）x 208（H）毫米
VAAV-10000A5000?17,000公斤465（寬）x 400（深）x 240（高）mm
VAAV-20000A11400-38,000公斤600（W）x 600（D）x 284（H）毫米
VAAV-30000A15,000-50000公斤700（W）x 700（D）x 182（H）毫米
HA-450水平執(zhí)行器480（寬）x 365（深）x 405（高）毫米
  • *防震臺的標(biāo)準(zhǔn)配置為4單位/ 1單位。
  • * HA-450是與VAAV-30000A組合使用的臥式執(zhí)行器。
  • *表中的大值可以在沒有均勻負(fù)載和沒有動態(tài)負(fù)載的情況下應(yīng)用。
控制器
SAC-07		控制器SAC-07300（W）x 300（D）x 118（H）毫米
電源供應(yīng)AC100V-240V 100VA（單相）
電源線3m
調(diào)節(jié)器
RGU-07		250（W）x 100（D）x 200（H）毫米
單元連接電纜5m
自由度3軸6自由度


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